Automatización de un sistema de sputtering para la preparación de películas delgadas

dc.contributor.advisor	García Arribas, Alfredo
dc.contributor.advisor	Fernández Martín, Eduardo
dc.contributor.author	Camiruaga Yanguas, Iker
dc.contributor.other	F. CIENCIA Y TECNOLOGIA
dc.contributor.other	ZIENTZIA ETA TEKNOLOGIA F.
dc.date.accessioned	2021-12-02T18:12:28Z
dc.date.available	2021-12-02T18:12:28Z
dc.date.issued	2021-12-02
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10810/54314
dc.description.abstract	[ES] En este trabajo se realiza la automatización de la presión de trabajo de argón en el sistema de sputtering del grupo de Magnetismo y Materiales Magnéticos de la Facultad de Ciencia yTecnología de la UPV/EHU.	es_ES
dc.language.iso	spa	es_ES
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/es/
dc.subject	sputtering
dc.subject	argón
dc.title	Automatización de un sistema de sputtering para la preparación de películas delgadas	es_ES
dc.type	info:eu-repo/semantics/bachelorThesis
dc.date.updated	2021-06-16T20:42:40Z
dc.language.rfc3066	es
dc.rights.holder	Atribución-NoComercial-CompartirIgual (cc by-nc-sa)
dc.contributor.degree	Ingeniaritza Elektronikoko Gradua	es_ES
dc.identifier.gaurassign	109858-881978

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