Fotolitografía sin máscaras
View/ Open
Date
2023-01-25Author
Garitano Telleria, Mikel
Metadata
Show full item recordAbstract
[ES] La fotolitografía sin máscaras forma una parte fundamental de la fabricación microelectrónica. Esta técnica consiste en la reproducción de patrones sobre una resina fotosensible, sin la necesidad del empleo de fotomáscaras físicas. De esta forma, ofrece una gran adaptabilidad y versatilidad al usuario. En el presente trabajo, se han fabricado microsensores basados en la magnetorresistencia anisótropa (AMR) y sus respectivos contactos eléctricos. Ha sido la primera vez que se ha empleado el equipo de exposición desde su instalación, y se ha trabajado en el límite de la resolución de la máquina (2 μm). Pese a problemas y complicaciones varias asociadas al equipo, se ha logrado obtener resultados satisfactorios.